半岛网页版,半岛(中国)紧紧抓住功率半导体器件进口替代契机、客户个性化需求增长等契机，对意发功率生产线进行了升级改造，增加了包括美国FSI全自动清洗机、美国PECVD、P5000、日本Kokusai立式氧化炉等在内的多套先进设备，有效改善了晶圆表面的残留金属离子、颗粒度和二氧化硅膜质均匀性等性能指标，极大的提升了芯片的可靠性。